ic layout这三种电容经常遇到: MOS, MOM , MIM
MOS 电容:两端结构mos随着控制电压的变化,管道和电容值不准确 化的容值,上下极板接法不可互换。
MOM 电容:finger 插指电容,即使用同层metal边沿之间的C。为了节省面积,可以多层次metal叠加,PDK中metal可选择层数。一般只用于多层金属的先进工艺,因为它是通过多层布线图实现的,但电容值的确定性和稳定性不如MIM,一般可用于对电容值要求不高、只使用相对比值等应用。可交换上下极板接法。
MIM 电容 : 类似于平板电容器,电容值更准确,电容值不会随着偏压而变化。mTOP l & mTOP -1 电容值可用于上级板面积*估算单位容值,上下极板接法不能互换,一般用于analog,RF工艺。
相同面积的三个电容,电容值 MIM<MOM,MIM约是1/3 MOS电容值.
MOM电容的优点是不需要额外的额外优点mask,MIM需要额外mask实现和工艺。