金正茂高低温真空磁场探测器是一个高精度的实验台，提供高低温、真空和磁场环境，其许多设计都是特殊的。因此，高低温磁场探针台的配置主要是根据用户的需要进行选择和设计。例如，所需的磁场值、均匀区域大小、均匀性大小、样品平台尺寸等与磁线在一定区域产生的磁通密度有关；位移平台还可与磁流体密封相匹配，实现水平二维移动和样品平台360度旋转；此外，探针平台与我公司自主开发的高精度双极恒流电源相匹配，使用户具有高磁场稳定性。因此，这类探针台主要根据客户的使用情况进行设计优化。
金正茂高低温真空磁场探测器配备4（6或8）高精度位移探测器臂和高精度电子显微镜，便于观察和操作小样品。探测器可用于测试芯片、晶片、包装设备等，广泛应用于半导体工业，MEMS 、超导、电子、铁电子、物理、材料和生物医学。
磁特性测试，微波特性测试，直流，RF特性测试、微电子机械系统、超导电性测试、纳米电路光电属性、量子点和线、芯片测试、材料测试、霍尔测试、电磁输送特性等。
t各类DC探针、高频探针、主动探针、电缆
tCCD或C-MOS视频成像装置
tChuck运动装置
t电磁铁系统/超导磁铁系统
t1Mpa升级正压系统
t超高温升级选件
t超高真空升级选件
t各种探针夹具
t屏蔽箱
t防振桌
t转接头
t静音真空泵
| 高低温真空磁场探测台 |
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| 型号 |
T8-EM4 |
T8-EM5 |
T8-EM7 |
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| 真空度 |
高达10-8Pa |
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| 腔体材质 |
无磁不锈钢或铝合金 |
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| 磁场范围 |
2000Gs @50mm |
5000Gs@50mm |
1T@50mm |
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| 磁场方向 |
水平(垂直方向可根据用户要求设计) |
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| 配套电源 |
双极性电源±50A |
双极性电源±70A |
双极性电源±90A |
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| 电源稳定性 |
50ppm（可选10ppm） |
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| 制冷方式 |
液氦/液氮制冷/闭循环制冷机 |
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| 温度范围 |
5K-325K可选500K |
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| 控温分辨率 |
0.001K控温仪相关 |
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| 温度稳定性 |
优于0.1K依赖于控温仪 |
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| 硅二极管/PT100/CernoxTM |
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| 传感器数量 |
样品台、防辐射屏、探针臂各一个 |
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| 样品台尺寸（max） |
Φ50mm，平整度≤7μm |
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| 样品台固定方式 |
真空硅脂/弹簧压片 |
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| 样品台材质 |
镀金无氧铜 |
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| 显微镜行程 |
X、Y平面2*2inch，精度1μm，Z轴行程≥50.8mm |
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| 放大倍数 |
16~100X/20~4000X |
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| 真空腔观察窗尺寸 |
1inch |
1.5inch |
2inch |
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| 窗口材料 |
熔融石英（可选K9、氟化钙等） |
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| 探针臂数量 |
2、4、6、8可选 |
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| 探针臂行程 |
(X-Y-Z)25mm-25mm-12mm可更换 |
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| 位移精度 |
10μm /2μm/1μm/0.7μm可选 |
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| 接口形式 |
普通真空接头/三同轴接头/BNC/SMA等 |
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| 探针直径 |
0.51mm |
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| 针尖直径 |
10μm/5μm/1μm可选 |
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| 探针材料 |
钨/GGB |
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| 供电电压 |
AC220V 50Hz/60Hz |
AC380V 50Hz/60Hz |
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