光谱共焦位移传感器作为一种新型的高精度测量设备,具有非接触式、高精度、高稳定性、大角度、高采样频率等测量特性。那么,光谱共焦作为一种新型的测量技术有什么原理呢:
一束白光(或多波长混合光)通过一个小孔,通过镜头将不同的波长聚焦在光轴上,形成彩虹分布带,照射到样品上,部分反射光反射回来。(如下图左所示)照射在光轴与物体表面交叉口的光通过分光部件通过小孔照射到光谱分析仪。根据波长计算,从镜头到被测对象的距离(如下图右所示)。
光谱共焦位移传感器的原理是什么?哪些领域可以应用?
作为一种新型的非接触式高精度测量设备,精度可达到亚微米水平,如轮廓、位移、高度、2d3d曲面弧度扫描、不透明物体厚度测量、振动测量、深孔、液位测量、微槽、平面度测量等。
光谱共焦位移传感器的原理是什么?哪些领域可以应用?
在手机行业,如曲面盖玻璃检测、手机主板检测、关键尺寸或高度检测、芯片检测、摄像头模块检测、手机摄像头模块检测等。半导体行业、芯片引脚平整度检测、晶圆深度和厚度检测。玻璃测量,如厚度、弧度等高精度产品。