校准硅压阻传感器压力传感器的主要困难在于误差范围广，不同工艺生产的硅压阻传感器有不同类型的误差和误差范围。即使是同一制造商提供的同一型号传感器的误差范围也会有轻微差异。硅压阻式传感器的误差包括强非线性满偏信号随温度变化(高达1%oK)；大的初始失调(可达到满偏的100%或更高)，以及随温度烈漂移。电子电路可以在一定程度上补偿这些缺陷。 沧正压力传感器 硅压阻桥路在一定温度下的电阻(Vcc地面之间的等效电阻)可以在较宽的压力范围内保持相当恒定，但随着温度的升高，桥梁电阻显著增加，如果桥梁由恒流源驱动，桥梁电压(指Vcc等效电阻与恒流源输出电流的乘积会增加。当桥路电压随温度升高而升高时，SPRT灵敏度也随之提高。另一方面，如果桥路电压保持恒定，SPRT随着温度的升高，压力灵敏度会降低。因此，SPRT压力灵敏度受温度和受温度影响的桥路电压两个对立因素的影响。桥路电阻或桥路电压的变化可以用现代信号调节电路IC用来校正SPRT温度范围内灵敏度的误差。值得一提的是，这种信号调节电路IC灵敏度随温度的变化可以通过桥路电阻的变化来校正。根据SPRT分析产生误差的主要因素，可以有针对性地纠正和补偿。以下将介绍传统校正、现代校正和简化补偿方法。 数显压力传感器 它可以补偿硅压阻精度至适当水平，并可以对SPRT温度漂移失调，温度漂移失调(OFFSETTC)以及SPRT调整灵敏度的温度漂移。而与SPRT灵敏度温度漂移与满偏榆出有关(FSO)这两个参数(指温度漂移)SPRT灵敏度温度漂移与满偏榆出温度漂移成正比)，电路中的调零电阻Rjz用来补偿传感器在室温下的失调电压，温度敏感电阻Rts和Rtz(或R’tz)用于校正温度误差。上述桥路电阻随温度升高而增加，使传感器两端的电压Vo Vo-()也增加了这个增加的电压△Vo Vo-它会提高传感器的灵敏度，即在给定压力下输出更高的电压。 然而，如果传感器两端的电压保持恒定，传感器的灵敏度会随着温度的升高而降低（或负向灵敏度系数），但由于桥梁电阻受温度影响而增加，其灵敏度的正变化系数大于负向灵敏度系数，因此全部输出(FSO)它倾向于随着温度的升高而增加。电阻器Rts一部分桥路电流可以在温度升高时旁路掉落，从而抵消上述效果。类似地，Rtz或R’tz可校正失调漂移。电路中选择Rts还是R’tz这取决于温度漂移的方向。 这种传统校正方法的优点是程序简单便宜，但主要问题是各补偿元件相互影响，使校准非常困难，精度有限，校正技术不便于电子调整。