MEMS压电麦克风

MEMS压电麦克风

1. 压电材料

   压电材料是一种大型单晶或多晶固体材料，力作用于两端表面。它是能量转换和信号传输的重要载体。法国物理学家的兄弟们首先报道了这些材料的压电特性。1880年，他们发现将重物放在石英晶体上，晶体的某些表面产生电荷，与压力成正比，并将其变成压电效应。由于压电材料具有优异的机电耦合效果，能快速响应外力，压电陶瓷作为压电换能材料，为麦克风领域开创了新时代。压电麦克风克服了电容麦克风的缺点。压电麦克风采用单层膜设计，制备工艺更为简单，结构上没有空气域，不受空气阻尼的影响，防水防尘并且不需要极化电压，具有低功耗的优点

2. 压电效应：

   压电效应:如果压电材料施加压力，会产生电位差(称为正压电效应)，反之，施加电压会产生机械应力(称为反压电效应)。

   常用的正压电效应产品，如打火机、麦克风、地质传感器等

   常用的产品，如蜂鸣器、打印机头、光学调焦等

3. 压电MEMS麦克风结构

   低能耗:压电麦克风不需要高偏压，使后续处理电路结构简单。在语音智能产品中，压电麦克风MEMS麦克风在永久监控（always listening）比电容式麦克风节省3-10倍的功耗。

   高AOP：152dB@THD10%(某个性能) 快速启动：200微秒 防水防尘性能：IP57 不需要粘贴各种防水膜，提高声音质量。

压电声学传感器代表美国Vesper公司，Vesper来自密歇根大学Bobby Littrell和Karl Grosh它成立于2000年，总部位于美国马塞诸塞州波士顿，由一家私人持有MEMS初创公司。Vesper产品采用压电技术。专心解决氮化铝问题（AlN）膜积累技术等一系列关键技术问题后，Vesper公司于2014年成立了工程团队，并在OEM工厂投放产品。

介绍Vesper一款在产品中更具特色的产品 VM2020 Features ? Ultra-high AOP ? Differential output ? Ultra-Fast Startup Time, 200μSec ? Low part-to-part variation ? High dynamic range ? Dust and water resistant to IP57

Typical Applications ? Subwoofers ? Echo Cancellation ? Outdoor Applicatio