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芯片基础:什么是MPW和Corner

你手上的样片,是什么范例的样片?如果是未经由Corner考证和可靠性测试的,需求多注重~ 这也是不少公司爱好抉择被头部企业考证过的量产缘故原由;

本日,小二和人人先容下,芯片设想完成后,普通会经由的几回关头投片

    • 甚么是MPW?为何要MPW?
    • 出产角度真正懂得MPW
    • 甚么是FullMask
    • 甚么是ECO
    • 甚么是Corner片

MPW和的拼板打样近似,全名叫,多项目晶圆,是将分歧芯片公司基于沟通工艺设想的芯片放在统一晶圆上;

每一年都市有流动的几回MPW机遇,叫Shuttle (班车),到点即发车,是否异常抽象

分歧公司拼Wafer,得有个划定规矩,MPW按SEAT来锁定面积,一个SEAT普通是3mm*4mm的一块地区,普通晶圆厂为了保证分歧芯片公司均能介入MPW,对每家公司预约的SEAT数量会限定;(实在SEAT多了,本钱也就上去了,MPW意思也没有了)

由于是拼Wafer,是以经由过程MPW拿到的芯片数量就会很无限,首要用于芯片公司外部做考证测试,也可能会提供给极少数的头部客户;

从这里人人大概曾经了解了,MPW是一个不完整的,弗成量产的投片;

由于芯片投资太贵了,而基于新工艺或许变迁较大的新设想,假如设想有题目,投片的最差效果多是无奈点亮,或许关头的性能,功能不迭预期,小则几百万,多则上千万打水漂;

MPW投片本钱小,普通就小几十万,能够很好下降危险;

需求注重的是,由于MPW从出产角度是一次残缺的出产流程,是以其仍是同样耗时间,一次MPW普通需求6~9个月,会带来芯片的托付时候后延;

究竟芯片加工仍是一个相对于庞杂的进程,我信任不少伴侣看完第一节,和小二以前懂得的晶圆布局,是下图的,一个框归属于一个芯片公司

实则否则,这就需要和晶圆的出产流程的相关了;

现阶段的光刻手艺DUV/等,大多接纳缩影的体式格局举行暴光,如下图所示

图片:CUMEC办事平台

接纳1:5 缩小的mask,对晶圆举行暴光,一次暴光的矩形地区平日称为一个shot,实现暴光后,主动调解晶圆地位,对下个shot举行暴光,云云轮回(Step-and-Repeat),直到全部晶圆实现暴光,而这一个Shot的地区,则是人人一路分管SEAT的地区;

以下表示图中,一个Shot内里划分4个小格,每一个格子给到一家厂商的设想

图片:CUMEC办事平台

图片:CUMEC办事平台

普通而言,MPW晶圆普通至多20个用户分享;

FullMask,“全掩膜”,即创造流程中的全数掩膜都为某个设想办事,即上节中所有Shot里都是统一家的;

图片:CUMEC办事平台

FullMask的芯片,一片晶圆能够产出上千片DIE;而后成芯片,能够支持大批量的客户需要;

假如MPW或许FullMask的芯片,考证有性能或许功能缺点,就需要改版了,也常常会用到ECO这个词;

ECO,即Engineering ,换句话说,便是间接手动修正netlist。

ECO能够发生在Tapeout以前,过程当中,或许以后;Tapeout以后的ECO,篡改少的大概仅需求改几层Metal layer,篡改大的话大概需求动十几层Metal layer,以至从新流片;

有的芯片设想公司,芯片能够ECO 5次以上,也是革新了小二的认知;

人人晓得,芯片的出产创造是一个化学&物理进程,

工艺误差(包孕搀杂浓度、散布深度、刻蚀水平等)会致使分歧批次晶圆之间,统一批次分歧晶圆之间,统一晶圆分歧芯片之间的功能都是不相同的

在一片wafer上,不可能每点的载流子均匀漂移速率都是同样的,跟着电压、温度分歧,它们的特点也会分歧,把他们分类就有了PVT(Process,Voltage,Temperature)

而Process又分为分歧的corner:

TT:Typical N Typical P

FF:Fast N Fast P

SS:Slow N Slow P

FS:Fast N Slow P

SF:Slow N Fast P

为了保障功能,在正式量产前,芯片都市特地的Corner片,用于考证工艺误差设想范围内以下是55nm Logic工艺片的例,拟定的corner split ta

转自 MMIC求同存异

#1 & #2 两片pilot wafer,一片盲封,一片测CP

#3 & #4 两片hold在Contact,为后道改版预留工程wafer能够节减ECO时候

#5~#12 八片hold在Poly,等pilot效果是不是需求调解器件速率考证corner

除了留有足够的芯片用于测试考证,Metal Fix,还应依据项目需要,预留尽量多的wafer作为量产出货

你手上的样片,是什么范例的样片?如果是经由Corner测试和可靠性测试需求注重~ 这也是不少公司爱好抉择被头部企业考证过的量产芯片缘故原由;

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