大气压力传感器在工业生产、气象预报、气候分析、环境监测、航空航天等方面发挥着不可替代的作用。传统的压力传感器一般是机械的，体积相对较大，不利于微型化和集成。MEMS该技术不仅可以解决上述缺点，而且可以大大降低成本，而且具有更好的性能。MEMS技术得到广泛应用的压力传感器主要有压阻式和电容式两大类，压阻式压力传感器的线性度很好，但精度一般，温漂大，一致性差；电容式压力传感器与之相比，精度更高，温漂小，芯片结构更具鲁棒性，但线性度差且易受寄生电容的影响。目前MEMS电容式压力传感器主要用于过压测量，气象压力测量较少，价格昂贵。为此，本文开发了一种高性能、低成本的微型电容式气象压力传感器，整个过程简单标准，膜材料选择单晶硅，采用接触结构，阳极键形成真空腔，最后由KOH硅膜由各向异性腐蚀和深蚀形成。试验结果表明，该传感器适用于气象压力测量。
大气压力传感器的设计和制造 敏感膜是大气压力传感器的核心部件，其材料、尺寸和厚度决定了传感器的性能。 目前，敏感膜的材料大多采用重掺杂材料p型硅、Si3N4.单晶硅等。这些材料各有优缺点，其选择与目标要求和具体工艺有关。硅膜不破坏晶格，具有优异的机械性能。适用于阳极键空腔。从简化工艺的目的出发，选择硅膜。 使用有限元分析软件ANSYS模拟接触式结构的薄膜工作状态。Si，膜的形状是正方形，边长1000 μm，膜厚5 μm，极板间距10 μm。在1.01105Pa在大气压力下，膜的中央接触部分和四个角基本不受应力影响，四个角的中央应力最大为1.07 MPa，小于硅的屈服应力7 MPa。