压力敏感元件是压力传感器和压力变送器的核心元件。压力可以用各种方法测量，但关键的基本原理分为两类： 沧正压力传感器 1.惠斯登电桥 配置在弹性膜上的电桥电阻在压力作用下变形，有的拉伸，有的压缩。电阻尺寸的变化导致电阻值的变化。因此，电桥产生差动输出信号，其值与施加的压力成正比。惠斯登电桥可由金属电阻或压阻材料组成。由于晶格掺杂效应和机械变形，压阻电桥可以提供更大的输出信号。金属电阻可以通过各种技术将电桥固定在上。如粘接、硅/陶瓷融合、直接分子键合等。 由于热膨胀系数不同，密封和充油隔离腔不希望出现热稳定性问题。工作温度区域内的温度非线性是一个大问题，因此工作温度区域的高端和低端受到限制。不希望有充油腔漏油的潜在可能性。 金属电阻的粘接或硅/陶瓷的融合。原则上不可避免地会出现不稳定。沧正压力变送器敏感元件采用溅射工艺，直接作用于压力介质的17-4PH在不锈钢膜上，微米级电阻膜是通过分子键合制成的。然后通过微电子工艺制作所需的惠斯登电桥，形成全金属敏感元件，无粘合剂和活动部件，无密封腔和充油腔，具有适用于恶劣环境和长期稳定工作的特点。 2．电容式 测量两块导电板的电容值。在压力作用下，导电板被迫挤压，使 电容值随压力而变化。电容式压力传感器采用MEMS该技术由陶瓷组成，或将金属嵌入半导体层中。传感元件固定在金属/玻璃密封或充油腔内。 所有的压阻和硅技术都存在因掺杂物质迁移和费米能级效应而引起漂移倾向。这些影响随着温度的升高而增大。