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电容式压力传感器分类与原理

电容式压传感器是一种压力传感器,它利用电容敏感元件将被测压力转化为与之相关的功率输出。它通常使用圆形金属薄膜或镀金属薄膜作为电容器的电极。当薄膜感受到压力并变形时,薄膜与固定电极之间形成的电容量发生变化,可以通过测量电路输出与电压有关的电信号。电容压力传感器属于极距变化电容传感器,可分为单电容压力传感器和差动电容压力传感器。 沧正压力传感器 单电容压力传感器 它由圆膜和固定电极组成。薄膜在压力作用下变形,从而改变电容器的容量。其灵敏度与薄膜的面积和压力成正比,与薄膜的张力和薄膜与固定电极的距离成正比。另一种类型的固定电极为凹形球形,膜片为周围固定的张紧平面,膜片可采用塑料镀金属层制成。该类型适用于低压测量,过载能力高。测量高压的单电容式压力传感器也可采用带活塞动极膜片制成。这种类型可以减少膜的直接压力面积,从而使用较薄的膜来提高灵敏度。它还包装了各种补偿和保护部门和放大电路,以提高抗干扰能力。该传感器适用于测量动态高压和遥测飞机。传声器式(即麦克风式)和听诊器式是单电容式压力传感器。 差动电容式压力传感器 压力膜片电极位于两个固定电极之间,形成两个电容器。一个电容器的容量在压力的作用下增加,另一个电容器的容量相应减小,测量结果由差动电路输出。其固定电极是在凹面玻璃表面镀金属层。过载时,膜片受凹面保护,不会破裂。差动电容式压力传感器比单电容式压力传感器灵敏度高,线性好,但加工困难(特别是对称性难以保证),无法隔离被测气体或液体,不适合在腐蚀性或杂质流体中工作。 电容力传感器结构简单,灵敏度高,动态响应快,但由于电荷泄漏难以避免,不适合静态力测量 (电容式力传感器的结构原理)。 在矩形的特殊弹性元件上,加工几个连接的圆孔,将两个端面平行的丁字形电极固定在每个圆孔上,每个电极上贴有铜箔,形成一个由多个平行板电容器并联组成的测量电路。在力F的作用下,弹性元件的变形改变了极板间矩,从而改变了电容。

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