光栅传感器

光栅传感器（optical grating transducer）指用光栅叠栅条纹原理测量位移的传感器。光栅是在长条光学玻璃上密集等间距平行的刻线，刻线密度为 10~100线/mm。光栅形成的叠栅条纹具有光学放大和误差平均效应，可提高测量精度。传感器由四尺光栅、指示光栅、光路系统和测量系统组成。与指示光栅移动相比，标尺光栅形成了明暗相间的叠栅条纹，大致按正弦规律分布。这些条纹以光栅的相对运动速度移动，并直接照射到光电元件上，在其输出端获得一系列电脉冲，通过放大、塑料、方向识别和计数系统直接显示被测位移。传感器有两种光路形式：一种是透射光栅，刻在透明材料（如工业白玻璃、光学玻璃等）上；另一种是反射光栅，刻在金属（不锈钢）或玻璃镀金属膜（铝膜）上。该传感器具有量程大、精度高等优点。在程控、数控机床和三坐标测量机构中，可测量静态、动态的直线位移和整圆角位移。也应用于机械振动测量、变形测量等领域。