概述：
某一维线性尺度远小于其他二维尺度的材料成为薄膜材料。理论上，薄膜材料的厚度介于单原子到几毫米，但由于厚度小于100nm薄膜已被称为二维材料，因此薄膜材料通常是指厚度为微米至毫米的薄金属或有机物层。
薄膜材料可分为非电子薄膜材料和电子薄膜材料。非电子薄膜材料不需要分析其电学特性。电子薄膜可分为导电膜、半导体膜、介质膜、电阻膜、磁性膜、压电膜、光电膜、热电膜、超导膜等，表面电阻率是电子薄膜电学性质的重要参数。
电子薄膜材料表面电阻测试
表面电阻率测试的常用方法是四探针法和范德堡法，但范德堡法很少用于电子薄膜材料。在大多数情况下，电子薄膜材料表面电阻率测试对测试仪器的要求不如二维材料/石墨烯材料高。用源表和探针台可手动或编写软件自动完成测试。
电子薄膜材料电阻率测试面临挑战
电子薄膜种类繁多，电阻率特性不同
需要选择合适的SMU进行测试
样品形状复杂，需要选择适当的修正参数
厚度修正系数对测试结果的影响F(W/S)
圆片直径校正系数对试验结果的影响
温度修正系数对测试结果的影响
环境对测试结果有影响
利用电流换向测试消除热电势误差
多次平均提高测试精度
测试成本需要考虑
泰克吉时利电子薄膜材料测试方案
1.通用配置
a.2450/2460/2461
b.四探针台(间距1mm）
c.测试软件(第三方)
2.高阻电子薄膜材料测试方案
a.6221/2182A 6514*2 DMM6500
b.第三方探针台
c.手动或软件编程
方案优势
1.不同的配置满足不同电子薄膜材料的电阻测试要求
2.高精度SMU,可手动测试，也可编程自动测试
3.高性价比
作为泰克吉时利的长期合作伙伴，安泰测试专业提供设备选择和测试方案，为西安多家企业和高校提供吉时利源性能现场演示，并得到客户的高度认可。如果您想了解更多的测试应用程序，请访问安泰测试网络