水印抑制是半导体制造干燥过程中的一个重要课题，IPA直接更换干燥是有效的。三相界面共存模型可以解释水印的生成。此外，还解释了马兰戈尼的效果。
半导体制造中的表面干燥技术
随着互联网等基础设施建设的完善，个人计算机在普通家庭中的普及需要大内存和高速CPU。相比之下，现在晶体管 结构框架中的解决方案是微细化和高集成化。存储单元的微小化使存储容量的大容量化成为可能，布线的微小化会增加时钟频率和低功耗。在半导体制造过程中，保持表面清洁很重要。除颗粒外，还有有有机成分、金属和天然氧化膜。
干燥方法的变迁
首先，将纯水从密封晶圆的容器下部引入冲洗。水洗后，一边排出纯水一边排 出IPA 蒸汽静静地从容器上部引入。IPA纯水从表面扩散，在水的最表面形成IPA层。在这种状态下，液位相对降低后，晶片表面的接触物质为100%纯水- 含有低浓度IPA纯水t浓度高IPA的纯水-液相 IPA-气相IPA顺序不断变化。结果表面没有水滴残留，没有水印。
水印生成机制
表面捕获的水滴在物理或化学蒸发过程中形成水印Si02xh2oo主要构成要素。在三相界面共存模型中，Si来自晶片，所以不要让剩余的大气和水共存是水印抑制的重点。IPA在直接替换的干燥方法中，IPA由于层与大气不允许水混合，从机制上可以判断为非常合理的干燥方法。
马兰戈尼干燥和马兰戈尼效应
马兰戈尼干燥是指水面IPA气氛干燥的方法之一是从水中缓慢提高晶圆。以下是液体流动原理的详细说明。一般来说，热和物质通过液体界面 自然流动发生在移动过程中。这种自然对流有两种发生机制，一种是所谓的自然对流，液体表面的表面 马兰戈尼对流是面张力分布的原因。
浮力引起的自然对流是由于垂直于重力方向的表面（水平面）上的流体密度差 因此，流体层越厚，越容易产生，在薄的流体层和液膜中越难产生，在没有重力的情况下消失。
另一方面，马兰戈尼对流的原因是液体表面的分布。因此，如果没有液体表面，就不会 会产生马兰戈尼对流，但由于表面可能发生，流体层薄或无重力环境都可能发生。
因此，马兰戈尼效应是指表面张力分布对液体的影响 马兰戈尼对流的流动。
在半导体制造领域，清洁和干燥过程是决定产量的重要因素。在干燥过程中，水印的产生已成为最重要的课题，并开发了各种干燥技术。其中，水印抑制效果最高IPA直接置换干 说明了干燥，揭示了水印是因为三相界面 共存的机制。最后简单说明了马兰戈尼干燥的马兰戈尼的效果，最近逐渐应用于尖端元件制造。