容性耦合等离子体(CCP)和电感耦合等离子体(ICP)

由两个电极之间的反应气体形成的等离子体称为容性耦合等离子体(Capaciltively Coupled Plasma，CCP)。

高频电流通过感应线圈产生高频电磁场，腔内反应气体形成的等离子体称为电感耦合等离子体(Inductively Coupled Plasma，ICP)。