纳米压痕是一种先进的微尺度机械测量技术。它通过测量压针上的载荷和压入样品表面的深度来获得材料的载荷位移曲线。其压入深度一般控制在微/纳米尺度，因此测试仪器的位移传感器优于1nm因此，它被称为纳米压痕仪。它是测试材料力学性能最简单的方法之一。
随着实验载荷的增加，位移增加，当载荷达到最大值时，位移也达到最大值，即最大压痕深度hmx;然后卸载，位移最终回到固定值，此时的深度称为残留压痕hr，即样品上压头留下的永久塑形变形。
特别适用于测量薄膜、涂层等超薄层材料的力学性能，如载荷-位移曲线、弹性模量、硬度、断裂韧性、应变硬化效应、粘弹性或蠕变行为等。
平台服务能力范围
压力范围：0-1000mN
温度范围：-150℃-100℃
测试环境：大气环境、真空环境、高低温环境
其他：配备不同尺寸的针尖，结合划痕形状、深度曲线、声信号等判断膜层与基底的结合力。