双极晶体管是最早发明的半导体设备,双极过程是早期集成电路生产中唯一可能的过程。双极过程发展迅速,具有高速、高跨导、低噪声、高电流驱动等优点。同时,双极晶体管是一种电流控制装置,两种载流子(电子和空穴)同时工作,通常用于电流放大电路、功率放大电流和高速电路。
双极电路的基本要素
1. 二极管(PN结)
一般来说,二极管是由PN其正方向的电压差与流过的电流大小无关,将始终保持在0.6-0.7V.

2. 双极型晶体管
双极晶体管主要有两种PN其结构可为结构组成NPN或者PNP,实现两种载流子的同时作用。下图显示了其结构示意图。
双极电路的隔离工艺
集成电路是在同一基板上制作多个设备及其连接,使设备结构分离原件不同,即生成寄生有源设备和无源设备。寄生效应对电路性能有一定的影响,因此各部件之间的隔离是集成电路中必须考虑的问题。双极集成电路的基本生产工艺可分为两类。
一是设备间需要制备电隔离区的双极制造技术,主要采用隔离技术pn结隔离、全介质隔离、pn结-介质混合隔离等。采用这种隔离技术的双极集成电路,如TTL电路、线性/ECL(Emitter Couple Logic,射极耦合逻辑电路等)。
介质隔离采用氧化物隔离法,即在设备区域周围建立一层隔离环,是二氧化硅等绝缘体,确保各部件之间完全电隔离。
PN结隔离是指两个晶体管分别在两个隔离区内完成,其集电区为n型外延层,两个晶体管集电区间隔两个背靠背pn结,只要p型衬底的电位低于集电区,两个晶体管就会反向偏置pn实现电隔离。
二是设备之间自然隔离的双极工艺工艺技术,I2L(intergrated Injection Logic,该工艺采用集成注入逻辑)电路。
双极设备的工艺流程
以四层三结构的双极晶体管为例,其结构如下图所示:
在双极集成电路的基本制造成电路的基本制造工艺。根据上述四层三结构的双极晶体管,一般生产工艺如下:
1. 衬底选择:主要确定衬底材料类型;确认衬底材料的电阻率;衬底材料的晶体方向;
2. 第一次光刻:N 隐埋层扩散孔光刻。
3. 外延层积累:
4. 第二次光刻:P隔离扩散孔光刻;
5. 第三次光刻:P区基区扩散孔光刻;
6. 第四次光刻:N 发射区扩散孔光刻;
7. 第五次光刻:引线孔光刻;
8. 铝淀积;
9. 第六次光刻:铝反刻。
最终形成的平面和剖面图如下图所示:
注:本文为《集成电路:制造工艺与工程应用》的阅读笔记及网络整理,侵删!
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