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压力传感器的分类

压力敏感元件是压传感器和压力变送器的核心元件。压力可以用各种方法测量,但关键的基本原理分为两类: 沧正压力传感器 1.惠斯登电桥 电桥电阻配置在弹性膜上,在压力作用下变形,有的拉伸,有的压缩。电阻尺寸的变化导致电阻值的变化。因此,电桥产生差动输出信号,其值与施加压力成正比。 惠斯登电桥可由金属电阻或压阻材料构成,压阻电桥由于晶格掺杂效应以及机械变形,能提供较大输出信号。 电桥可以用多种技术固定在膜片上。如粘接、硅/陶瓷融合、直接分子键合等。 由于热膨胀系数不同,密封和充油隔离腔不希望出现热稳定性问题。工作温度区域内的温度非线性是一个大问题,因此工作温度区域的高端和低端受到限制。不希望有充油腔漏油的潜在可能性。 金属电阻电阻或硅/陶瓷融合。原则上不稳定是不可避免的。沧正压力变送器敏感元件采用溅射工艺,直接作用于压力介质的17-4PH在不锈钢膜片上,微米级电阻膜是通过分子键合制成的。惠斯登电桥通过微电子工艺制作,形成全金属敏感元件,无粘合剂和活动部件,无密封腔和充油腔,具有适用于恶劣环境和长期稳定工作的特点。 2.电容式 在压力作用下,测量两块导电板的电容值,使导电板被迫挤压 电容值随压力的变化而变化。电容式压力传感元件采用MEMS该技术由陶瓷组成,或将金属嵌入半导体层中。传感元件固定在金属/玻璃密封或充油腔内。 由于掺杂物质迁移和费米能级效应,所有的压阻和硅技术都有漂移倾向。这些影响随着温度的升高而增加。

标签: 型差动电容传感器传感器拉伸电容型绝压压力变送器

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