MEMS加速芯片有哪些类型？ MEMS按技术成熟，加速度计可分为压电式、容感式、热感式三种形式。 1、压电式MEMS加速度计采用压电效应，内部有刚体支撑质量块。当有运动时，质量块会产生压力，刚体会产生应变，加速度会转化为电信号输出。
2、容感式MEMS加速度计内部还有一个质量块。从单个单元的角度来看，它是一个标准的平板电容器。加速度的变化驱动活动质量块的移动，从而改变平板电容器两极之间的间距和正面积，并通过测量电容器的变化来计算加速度。
3、热感式MEMS加速度计内部没有质量块，其中心有一个加热器，周围是温度传感器，内部是封闭的空气腔，在加热器的作用下，气体形成热气团，热气团的比例不同于周围的空调，通过惯性热气团运动形成的热场变化，使传感器感知加速度值。
由于压电式MEMS刚体支撑存在于加速度计内部。通常，压电式MEMS加速度计只能感知动态加速度，而不能感知静态加速度，即重力加速度。 容感式和热感式不仅能感应动态加速，还能感应静态加速。