PN结:从PN结说起
PN结是半导体的基础,混合是半导体的灵魂,先明确几点:
1、P类型和N型半导体:本征半导体与三价元素混合。根据高中化学键的稳定性原理,空穴容易导电。因此,这里的空穴是多子,即大多数载流子,掺杂类型为P(positive)类型;同样,混合五价元素,电子为多子N(negative)型。
2.载流子:导电介质分为多子和少子。概念很重要,后面会引用
3.空穴带正电,电子带负电,但混合半导体本身是电中性的
4、P 和N 表示严重掺杂;P-和N-表示轻微掺杂
PN如下图所示,空穴和电子扩散形成耗尽层,耗尽层的电场方向如图所示:
PN结正偏:PN如下图所示:
此时,在电场的作用下,P区多子空穴向N区移动,N相反,区域内的多子电子使耗尽层变窄至消失,正向导电OK,也可以理解为,外加电场克服了耗尽层的内电场,实现了导电.7V或0.3V。这就是二极管正向导通的原理。
PN结反偏:PN如下图所示:
反偏时,多子在电场的作用下运动PN结加宽,电流不能通过,反向截止;这是二极管反向截止的原理。然而,此时,少子在内外电场的作用下移动,并耗尽层电场的方向,使少子更容易通过PN结,形成漏电流。
得出重要结论,重点:反偏时,大部分载流子截止,少数载流子容易通过,大部分载流子比正偏时通过PN结也要轻松。
上边说PN结反偏时,少数载流子可轻易通过,形成电流,正常情况下小少子数量很少,反向电流可忽略不计。
现在我们将控制这个反向电流,如何通过向N区注入少子注入,在N区下添加另一个P区,并添加新的PN结正偏,如下:
在上图中,发射结正偏,大量空穴进入基区。他们在基区的身份仍然是少数载流子。此时,如前所述,这些注入的少数载流子很容易通过反偏转PN到达集电极,形成集电极电流Ic。
三极管的放大导通条件是发射结正偏,集电结反偏,很容易理解,上一个三极管的特性曲线。
饱和区问题涉及三极管在饱和区工作Vce很小,有人说饱和区的条件是发射正偏,集电结正偏,容易被误解;发射正偏导没问题,但集电结没有达到正偏导。如果集电结正偏导,和两个二极管没什么区别;
正偏电压阻碍基区少子向集电极漂移,正偏越严重,少子向集电极移动越困难,即Ic越小,饱和状态下越小Ic小于放大状态βIb是的,此时管道呈现出很小的结电阻,即所谓的饱和导通。
MOS管结构原理:以N-MOS为例,a:P衬底为型半导体;b:两个N型区域在上面扩散,c:覆盖SiO2绝缘层;在N区腐蚀两个孔,然后在绝缘层和两个孔中制成三个电极:G(栅极)、D(漏极)、S(源极)。
工作原理:一般衬底与源极短相连,Vds加正电压,Vgs=0时,PN结反偏,没有电流,Vgs加正电压,P负电荷感应在衬底上方,与P衬底的多子(空穴)极性相反,称为反形层,并连接泄漏极N区形成导电沟,当Vgs当负电荷与空穴中和时,仍然不能导电Vgs超过导通阈值后,感应负电荷将N型区形成N沟,开始导电。Vgs继续增加,降低沟扩大电阻,从而增加电流。
为了提高设备的性能,出现了VMOS、UMOS各种结构的基本原理相同。
IGBT是MOS和BJT如何复合复合器件,往下看。从结构上看,IGBT与功率MOS背面的结构非常相似P 注入层(injectionlayer)。
得出IGBT导电路径:
由于上图P陷阱和N-漂移区的PN形成反偏状态,产生反偏状态JFET效应,如下图。
所以,在上面IGBT在结构中,电子流通方向的电阻可以用下图表示,结合上述描述一目了然。
为降低上述电阻,提高栅极面积利用率,槽栅IGBT成为主流,效果如下图所示。
另外,为了提升IGBT耐压,减少拖尾电流N–漂移区和背面工艺(减薄和注入)做了很多努力。
N-区下功夫包括以下几种:
1、PT:以高浓度的P 直拉单晶硅是起始材料,先生长了一层N型缓冲层,掺杂浓度高(N buffer层),然后继续积累轻混合物N-作为外延层IGBT漂移区,然后在N-外延层表面形成P-base、N source作为元胞,P型衬底最终根据需要减薄。
2、NPT:采用轻掺杂N-作为起始材料,区熔单晶硅首先在硅表面前制作元胞,并用钝化层保护,然后将硅片减薄到适当的厚度。最后,将硼注入薄硅片的背面,形成P collector。
3、FS:以轻掺杂N-作为起始材料,区熔单晶硅首先在硅表面前制作元胞,并用钝化层保护。硅片减薄后,首先将磷注入硅片背面形成N 截止层,最后注入硼,形成P collector。
要搞清楚IGBT、BJT、MOSFET两者之间的关系必须大致了解三者的内部结构和工作原理。
双极晶体管,俗称三极管。内部结构(以PNP型BJT例)如下图所示。
BJT内部结构及符号
双极意味着装置内部有空穴和电子载流子参与导电,BJT由于称为双极性晶体管,其内部必须有空穴和载流子。理解这两种载流子的运动是理解BJT工作原理的关键。
由于图中e(发射极)P区空穴浓度大于b(基极)N区空穴浓度,因此会发生空穴扩散,即P区扩散到N区。eP区电子浓度小于(发射极)b(基极)N区电子浓度,因此电子也会从N区扩散到P区。
这种运动最终会导致从N区到P区的电场出现在发射结上,即内部电场。该电场将防止P区的空穴继续扩散到N区。如果我们在发射结上添加正偏电压(p为了减弱内部电场的作用,可以使空穴继续扩散到N区。
扩散到N区的一部分空穴与N区的大多数载流子电子复合,另一部分集电结反偏(p在负n正的条件下,通过漂移到达集电极,形成集电极电流。
值得注意的是,N区域本身的电子在P区的空穴复合后不会出现N区电子不足,因为B电极B电极(基极)会提供源源不断的电子,以确保上述过程能够持续进行。这部分理解背后的理解IGBT与BJT关系很有帮助。
金属-氧化物-半导体场效应晶体管,简称场效晶体管。内部结构(以N-MOSFET例)如下图所示。
MOSFET内部结构及符号
在P型半导体衬底上做两个N 区域,一个称为源区,另一个称为泄漏区。泄漏和源之间是水平距离沟区。在沟区表面,有一层由热氧化产生的氧化层作为介质,称为绝缘栅。在源区、泄漏区和绝缘栅上蒸发一层铝作为引出电极,即源极(S)、漏极(D)和栅极(G)。
MOSFET管道为压控装置,其导通关断由栅极电压控制。从图中观察,发现N-MOSFET管道的源极S和漏极D之间有两个背靠背pn结,当栅极-源极电压VGS不加电压时,无论漏极-源极电压如何VDS总有一个极性电压加多大或什么?pn结处于反偏状态,泄漏和源极之间没有导电沟,设备无法导通。
但如果VGS正向足够大。此时,栅极G和衬底P之间的绝缘层将产生一个电场,方向从栅极指向衬底。电子在电场的作用下聚集在栅氧下表面,形成N层(通常是几层)nm),连接左右两个N 如图中黄色区域所示,形成导通沟。VDS>0V时,N-MOSFET管导通,设备工作。
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IGBT的结构图
IGBT内部结构及符号
黄色色块表示IGBT导通时形成的沟道。首先看黄色虚线部分,细看之下是不是有一丝熟悉之感?
这部分结构和工作原理实质上和上述的N-MOSFET是一样的。当VGE》0V,VCE》0V时,IGBT表面同样会形成沟道,电子从n区出发、流经沟道区、注入n漂移区,n漂移区就类似于N-MOSFET的漏极。
蓝色虚线部分同理于BJT结构,流入n漂移区的电子为PNP晶体管的n区持续提供电子,这就保证了PNP晶体管的基极电流。我们给它外加正向偏压VCE,使PNP正向导通,IGBT器件正常工作。
这就是定义中为什么说IGBT是由BJT和MOSFET组成的器件的原因。
此外,标注红色部分,这部分在定义当中没有被提及的原因在于它实际上是个npnp的寄生晶闸管结构,这种结构对IGBT来说是个不希望存在的结构,因为寄生晶闸管在一定的条件下会发生闩锁,让IGBT失去栅控能力,这样IGBT将无法自行关断,从而导致IGBT的损坏。
BJT出现在MOSFET之前,而MOSFET出现在IGBT之前,所以我们从中间者MOSFET的出现来阐述三者的因果关系。
MOSFET的出现可以追溯到20世纪30年代初。德国科学家Lilienfeld于1930年提出的场效应晶体管概念吸引了许多该领域科学家的兴趣,贝尔实验室的Bardeem和Brattain在1947年的一次场效应管发明尝试中,意外发明了电接触双极晶体管(BJT)。
两年后,同样来自贝尔实验室的Shockley用少子注入理论阐明了BJT的工作原理,并提出了可实用化的结型晶体管概念。
发展到现在,MOSFET主要应用于中小功率场合如电脑功率电源、家用电器等,具有门极输入阻抗高、驱动功率小、电流关断能力强、开关速度快、开关损耗小等优点。
随着下游应用发展越来越快,MOSFET的电流能力显然已经不能满足市场需求。为了在保留MOSFET优点的前提下降低器件的导通电阻,人们曾经尝试通过提高MOSFET衬底的掺杂浓度以降低导通电阻,但衬底掺杂的提高会降低器件的耐压。这显然不是理想的改进办法。
但是如果在MOSFET结构的基础上引入一个双极型BJT结构,就不仅能够保留MOSFET原有优点,还可以通过BJT结构的少数载流子注入效应对n漂移区的电导率进行调制,从而有效降低n漂移区的电阻率,提高器件的电流能力。
经过后续不断的改进,目前IGBT已经能够覆盖从600V—6500V的电压范围,应用涵盖从工业电源、变频器、新能源汽车、新能源发电到轨道交通、国家电网等一系列领域。
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